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熱式氣體質量流量計


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 產品概述

    熱式氣體質量流量計是基于熱擴散原理而設計的,具有可測微小流量、穩定性和可靠性高、壓力損失極小、量程比高、安裝方便重復性高好等優點、廣泛應用于半導體工業領域中氣體流量的測定。 

 產品優勢

    無須壓力溫度補償,直接測量氣體質量流量,組成簡單,出現故障概率小 ;

    量程比高(1000:1左右);

    靈敏度高,尤其適合于大管徑、低流速的流量測量 ;

    結構多樣,分插入式、管道式安裝,安裝靈活,裝卸方便,使用簡便 ;

    無活動部件,結構堅固,抗振,壓損幾乎沒有;

    可應用于高溫場合和腐蝕環境中。


解決方案
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